Sublimationsschneiden von Silizium mit ultrakurz gepulster Laserstrahlung

··· lezzter Preis 38.27€ ··· 9783863594534 ··· 1036178571 ···
Das Sublimationsschneiden mit ultrakurz gepulster Laserstrahlung ist aufgrund der sehr kurzen Wechselwirkungszeiten zwischen Strahl und Material eine vielversprechende Vereinzelungstechnologie für Halbleiterbauelemente. In dieser Arbeit wird, durch Erhöhung der Substrattemperatur in der Schnittfuge, die Absorption der einfallenden Laserstrahlung so lokalisiert, dass ein möglichst hohes Aspektverhältnis resultiert. Weiterhin wird untersucht, welche Prozessparameter das Aspektverhältnis beeinflussen.
Hersteller: Apprimus Wissenschaftsver
Marke: Apprimus Wissenschaftsver
EAN: 9783863594534
Kat: Hardcover/Naturwissenschaften, Medizin, Informatik, Technik/Technik/Maschinenbau, Fertigungstechnik
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Sublimationsschneiden von Silizium mit ultrakurz gepulster Laserstrahlung

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