Strukturnye i fizicheskie svoystva plenok SiCx i SnOx

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V rabote provedeno issledovanie osobennostey protsessa kristallizatsii, mikrostruktury i fazovogo sostava sloev SiCx (x = 0,03 1,4), sintezirovannykh implantatsiey ionov ugleroda s energiyami 40, 20, 10, 5 i 3 keV v kremniy (nauchnyy konsul`tant - professor Nusupov K.Kh.) a takzhe kompleksnoe issledovanie opticheskikh i elektrofizicheskikh svoystv, mikrostruktury i fazovogo sostava tonkikh plenok SnOx, sintezirovannykh metodami zol`-gel` tekhnologii, magnetronnogo reaktivnogo raspyleniya i ionno-luchevogo raspyleniya, modifitsirovannykh termicheskoy i plazmennoy obrabotkami. V shirokozonnykh poluprovodnikovykh plenkakh SiC i SnO2, obladayushchikh vysokoy tverdost`yu, khimicheskoy stoykost`yu, vysokoy temperaturoy plavleniya i sposobnykh rabotat` pri povyshennykh temperaturakh, kharakternym svoystvom i obshchey problemoy yavlyaetsya segregatsiya odnogo iz komponentov: S v sloyakh SiCx i Sn v sloyakh SnOx. Obrabotka v plazme tleyushchego razryada plenok SiCx pered otzhigom pozvolila sushchestvenno uluchshit` kristallicheskuyu strukturu plenok za schet raspada prochnykh uglerodnykh klasterov, a obrabotka v plazme plenok SnOx - znachitel`no uvelichit` ikh gazochuvstvitel`nost` i prozrachnost` za schet okisleniya i klasterizatsii v edinom protsesse.
Hersteller: Palmarium Academic Publishing
Marke: Palmarium Academic Publishing
EAN: 9783847390671
Kat: Hardcover/Naturwissenschaften, Medizin, Informatik, Technik/Physik, Astronomie
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7: Strukturnye i fizicheskie svoystva plenok SiCx i SnOx
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···· aufgenommen: 27.07.2020 · 14:51:53
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Strukturnye i fizicheskie svoystva plenok SiCx i SnOx

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